異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用(監修:益一哉・年吉洋・町田克之)、第7章「ナノポーラスシリコンとそのデバイス」
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- KOSHIDA NOBUYOSHI
- 東京農工大学
Bibliographic Information
- Title
- "異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用(監修:益一哉・年吉洋・町田克之)、第7章「ナノポーラスシリコンとそのデバイス」"
- Author
- 越田信義・小山英樹
- Publisher
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- シーエムシー出版
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1020282257170419328
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- Title Language Code
- ja
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- Data Source
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- KAKEN