異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用(監修:益一哉・年吉洋・町田克之)、第7章「ナノポーラスシリコンとそのデバイス」
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- 越田 信義
- 東京農工大学
書誌事項
- タイトル
- "異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用(監修:益一哉・年吉洋・町田克之)、第7章「ナノポーラスシリコンとそのデバイス」"
- 著者
- 越田信義・小山英樹
- 出版者
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- シーエムシー出版
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1020282257170419328
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- タイトル言語コード
- ja
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- データソース種別
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- KAKEN