セラミックス製造プロセス、応用技術大全集:スパッタリング法による圧電薄膜の作製と評価
書誌事項
- タイトル
- "セラミックス製造プロセス、応用技術大全集:スパッタリング法による圧電薄膜の作製と評価"
- 著者
- 脇谷 尚樹、鈴木 久男、篠崎 和夫
- 出版者
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- 技術情報協会
- ページ数
- 10
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1020282257442986497
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- タイトル言語コード
- ja
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- データソース種別
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- KAKEN
