セラミックス製造プロセス、応用技術大全集:スパッタリング法による圧電薄膜の作製と評価
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- WAKIYA Naoki
- Shizuoka University
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- SUZUKI Hisao
- 静岡大学
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- 篠崎 和夫
- 東京工業大学
Bibliographic Information
- Title
- "セラミックス製造プロセス、応用技術大全集:スパッタリング法による圧電薄膜の作製と評価"
- Author
- 脇谷 尚樹、鈴木 久男、篠崎 和夫
- Publisher
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- 技術情報協会
- Pagination
- 10
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Details
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- CRID
- 1020282257442986497
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- Title Language Code
- ja
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- Data Source
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- KAKEN
