MEMS gas sensor system with ultra-high sensitivity and high selectivity utilizing a double receptor as a reaction field.
About this project
- Japan Grant Number
- JP23K26383
- Funding Program
- Grants-in-Aid for Scientific Research
- Funding organization
- Japan Society for the Promotion of Science
- Project/Area Number
- 23K26383
- Research Category
- Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Allocation Type
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- Multi-year Fund
- Single-year Grants
- Review Section / Research Field
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- Basic Section 26020:Inorganic materials and properties-related
- Research Institution
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- Kyushu University
- Project Period (FY)
- 2023-04-01 〜 2026-03-31
- Project Status
- Granted
- Budget Amount*help
- 19,240,000 Yen (Direct Cost: 14,800,000 Yen Indirect Cost: 4,440,000 Yen)
Research Abstract
金属酸化物半導体ガスセンサとMEMS（Micro-Electro-Mechanical-System）パルス駆動を融合することにより、これまで実現不可能とされているpptレベルの超高感度（Ultra-High-Sensitive）と超ガス選択性（Super-Selective）の両者を兼ね備えた新規なガスセンサを提案する。学術的には、これまで触媒反応の定常状態を信号としてきたガスセンサに、パルス駆動による選択的ガス吸着とその特異な反応過程という新規な速度論的解釈を導入し、さらにこれまでにない新たな情報応用の基礎を構築するものである。
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1040862776834060672
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- KAKEN