MEMS gas sensor system with ultra-high sensitivity and high selectivity utilizing a double receptor as a reaction field.

About this project

Japan Grant Number
JP23K26383
Funding Program
Grants-in-Aid for Scientific Research
Funding organization
Japan Society for the Promotion of Science
Project/Area Number
23K26383
Research Category
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Allocation Type
  • Multi-year Fund
  • Single-year Grants
Review Section / Research Field
  • Basic Section 26020:Inorganic materials and properties-related
Research Institution
  • Kyushu University
Project Period (FY)
2023-04-01 〜 2026-03-31
Project Status
Granted
Budget Amount*help
19,240,000 Yen (Direct Cost: 14,800,000 Yen Indirect Cost: 4,440,000 Yen)

Research Abstract

金属酸化物半導体ガスセンサとMEMS(Micro-Electro-Mechanical-System)パルス駆動を融合することにより、これまで実現不可能とされているpptレベルの超高感度(Ultra-High-Sensitive)と超ガス選択性(Super-Selective)の両者を兼ね備えた新規なガスセンサを提案する。学術的には、これまで触媒反応の定常状態を信号としてきたガスセンサに、パルス駆動による選択的ガス吸着とその特異な反応過程という新規な速度論的解釈を導入し、さらにこれまでにない新たな情報応用の基礎を構築するものである。

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