ダブルレセプターを反応場とする超高感度・高選択性MEMSガスセンサシステムの創出
研究課題情報
- 体系的番号
- JP23K26383
- 助成事業
- 科学研究費助成事業
- 資金配分機関情報
- 日本学術振興会(JSPS)
- 研究課題/領域番号
- 23K26383
- 研究種目
- 基盤研究(B)
- 配分区分
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- 基金
- 補助金
- 審査区分/研究分野
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- 小区分26020:無機材料および物性関連
- 研究機関
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- 九州大学
- 研究期間 (年度)
- 2023-04-01 〜 2026-03-31
- 研究課題ステータス
- 交付
- 配分額*注記
- 19,240,000 円 (直接経費: 14,800,000 円 間接経費: 4,440,000 円)
研究概要
金属酸化物半導体ガスセンサとMEMS（Micro-Electro-Mechanical-System）パルス駆動を融合することにより、これまで実現不可能とされているpptレベルの超高感度（Ultra-High-Sensitive）と超ガス選択性（Super-Selective）の両者を兼ね備えた新規なガスセンサを提案する。学術的には、これまで触媒反応の定常状態を信号としてきたガスセンサに、パルス駆動による選択的ガス吸着とその特異な反応過程という新規な速度論的解釈を導入し、さらにこれまでにない新たな情報応用の基礎を構築するものである。