接合終端構造の改良による15kV級SiC PiNダイオードの実現

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  • Demonstration of 15 kV 4H-SiC PiN Diodes with Improved Junction Termination Structures
  • セツゴウ シュウ タン コウゾウ ノ カイリョウ ニ ヨル 15kVキュウ SiC PiN ダイオード ノ ジツゲン

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抄録

様々な接合終端構造を有する4H-SiC PiNダイオードを作製し, その耐圧特性を評価した. その結果two-zone JTEと独自の空間変調JTEを組み合わせることで耐圧15kVを達成した. さらにこのような超高耐圧が得られるJTEドーズ量の幅が拡大し, JTEドーズ量の変化に対するロバスト性が向上した. また測定された耐圧のJTEドーズ量依存性はデバイスシミュレーションと比較して高ドーズ側ヘシフトすることがわかった. これは, 酸化膜と半導体界面の電荷による実効的なJTEドーズ量の減少がにより説明できる.

本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである

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