書誌事項
- タイトル別名
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- Neutral Hydrogen Atom Generation by Surface Wave Excitation Plasma and Its Application to Resist Ashing
- ヒョウメンハレイキプラズマ ニ ヨル チュウセイ スイソ ゲンシ セイセイ ト レジストアッシング エ ノ オウヨウ
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抄録
特集 : 「2003年度実施の地域との共同研究の報告」
収録刊行物
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- 室蘭工業大学紀要
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室蘭工業大学紀要 54 29-35, 2004-11
室蘭工業大学
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1050282676663930496
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- NII論文ID
- 10018233230
- 110001263633
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- NII書誌ID
- AA11912609
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- HANDLE
- 10258/62
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- NDL書誌ID
- 7178402
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- ISSN
- 13442708
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- 本文言語コード
- ja
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- 資料種別
- departmental bulletin paper
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- データソース種別
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- IRDB
- NDL
- CiNii Articles