Micro electron field emitter array with focus lenses for multi-electron beam lithography
抄録
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学術論文 (Article)
科研費報告書収録論文(課題番号:13305010・基盤研究(A)(2) ・H13~H15/研究代表者:江刺, 正喜/ナノメートルの精度で動く分布型マイクロ・ナノマシン)
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収録刊行物
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- TRANSDUCERS 2003 : the 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
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TRANSDUCERS 2003 : the 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems 2 1295-1298, 2003
Institute of Electrical and Electronics Engineers
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1050282677720496896
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- HANDLE
- 10097/48055
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- 本文言語コード
- en
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- 資料種別
- journal article
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- データソース種別
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- IRDB