プラズマエッチングプロセスにおけるプラズマー表面相互作用の分子動力学的計算による研究

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書誌事項

タイトル
プラズマエッチングプロセスにおけるプラズマー表面相互作用の分子動力学的計算による研究
タイトル別名
  • Molecular dynamics simulation of the plasma-surface interaction during plasma etching processes
  • プラズマ エッチング プロセス ニ オケル プラズマ - ヒョウメン ソウゴ サヨウ ノ ブンシ ドウリキガクテキ ケイサン ニ ヨル ケンキュウ
著者
Ohta, Hiroaki
著者別名
  • 太田, 裕朗
  • オオタ, ヒロアキ
学位授与大学
京都大学
取得学位
博士(エネルギー科学)
学位授与番号
甲第11119号
学位授与年月日
2004-07-23

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博士論文

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