赤外光弾性法を用いた半導体結晶中の格子欠陥内部応力その場観察法の開発

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書誌事項

タイトル
"赤外光弾性法を用いた半導体結晶中の格子欠陥内部応力その場観察法の開発"
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研究代表者東田賢二
出版者
  • [九州大学]
出版年月
  • 2001.3
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • セイキガイコウ ダンセイホウ オ モチイタ ハンドウタイ ケッショウチュウ ノ コウシ ケッカン ナイブ オウリョク ソノバ カンサツホウ ノ カイハツ
  • 平成11年度-平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号11555162)

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000793741545984
  • NII書誌ID
    BA53178773
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [福岡]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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