書誌事項
- タイトル
- "VLSI metallization : physics and technologies"
- 責任表示
- Krishna Shenai, editor
- 出版者
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- Artech House
- 出版年月
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- c1991
- 書籍サイズ
- 28 cm
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注記
Includes bibliographical references and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000793755439744
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- NII書誌ID
- BA12616053
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- ISBN
- 0890065012
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- LCCN
- 90049544
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/90049544
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Boston
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- 分類
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- LCC: TK7872.C68
- DC20: 621.381/52
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- 件名
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- LCSH: Electric contacts
- LCSH: Semiconductor-metal boundaries
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- データソース種別
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- CiNii Books