速度可変シャッターを用いた軟X線多層膜の精密膜厚分布制御と非球面形状創成への応用
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書誌事項
- タイトル
- "速度可変シャッターを用いた軟X線多層膜の精密膜厚分布制御と非球面形状創成への応用"
- 責任表示
- 羽多野忠研究代表
- 出版者
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- [羽多野忠]
- 出版年月
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- 2005.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ソクド カヘン シャッター オ モチイタ ナンXセン タソウマク ノ セイミツ マクアツ ブンプ セイギョ ト ヒキュウメン ケイジョウ ソウセイ エノ オウヨウ
- 平成15年度～平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(課題番号15560016)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000793821014528
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- NII書誌ID
- BB1077064X
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books