Optical microlithography XIII : 1-3 March 2000, Santa Clara, USA
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書誌事項
- タイトル
- "Optical microlithography XIII : 1-3 March 2000, Santa Clara, USA"
- 責任表示
- Christopher J. Progler chair/editor ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; Cooperating organizations SEMI-Semiconductor Equipment and Materials International SEMATECH
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c2000
- 書籍サイズ
- 28 cm
- シリーズ名/番号
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- pt. 1
- pt. 2
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000793846320512
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- NII書誌ID
- BA48017673
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- ISBN
- 0819436186
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash., USA
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- データソース種別
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- CiNii Books