LPCVD silicon nitride and oxynitride films : material and applications in integrated circuit technology
書誌事項
- タイトル
- "LPCVD silicon nitride and oxynitride films : material and applications in integrated circuit technology"
- 責任表示
- F.H.P.M. Habraken (ed.)
- 出版者
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- Springer-Verlag
- 出版年月
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- 1991
- 書籍サイズ
- 25 cm
- シリーズ名/番号
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- : N.Y.
- : Berlin
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注記
Includes bibliographical references
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000793874277504
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- NII書誌ID
- BA14043559
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- ISBN
- 0387539549
- 3540539549
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- LCCN
- 91202510
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/91202510
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- gw
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Berlin ; New York
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- 分類
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- LCC: TK7872.T55
- DC20: 621.381/52
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- データソース種別
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- CiNii Books