機器導体部のプラズマCVD絶縁膜 (CxFy高分子) によるSF[6]ガス代替絶縁
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書誌事項
- タイトル
- "機器導体部のプラズマCVD絶縁膜 (CxFy高分子) によるSF[6]ガス代替絶縁"
- 責任表示
- 研究代表者 酒井洋輔
- 出版者
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- [北海道大学大学院工学研究科]
- 出版年月
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- 2005.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- キキ ドウタイブ ノ プラズマ CVD ゼツエンマク CxFy コウブンシ ニヨル SF[6] ガス ダイタイ ゼツエン
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注記
[6]は下付き文字
課題番号: 15360143
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794084620928
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- NII書誌ID
- BA73691675
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [札幌]
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- データソース種別
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- CiNii Books