ハレクシスCBED法を用いた鉄シリサイド半導体薄膜の結晶性評価
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "ハレクシスCBED法を用いた鉄シリサイド半導体薄膜の結晶性評価"
- 責任表示
- 研究代表者 板倉賢
- 出版者
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- [九州大学]
- 出版年月
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- 2007.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ハレクシス CBEDホウ オ モチイタ テツ シリサイド ハンドウタイ ハクマク ノ ケッショウセイ ヒョウカ
- 平成16年度～18年度日本学術振興会科学研究費補助金基盤研究(B)
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注記
課題番号: 16360315
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794106779648
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- NII書誌ID
- BA82165593
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [福岡]
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- データソース種別
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- CiNii Books