Microelectronics technology and process integration : 20-21 October 1994, Austin, Texas
書誌事項
- タイトル
- "Microelectronics technology and process integration : 20-21 October 1994, Austin, Texas"
- 責任表示
- Fusen E. Chen, Shyam P. Murarka, chairs/editors ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c1994
- 書籍サイズ
- 28 cm
- シリーズ名/番号
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- pbk.
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注記
Includes bibliographical references and author index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794121053440
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- NII書誌ID
- BA29176512
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- ISBN
- 0819416681
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- LCCN
- 94067261
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/94067261
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash., USA
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- 分類
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- LCC: TK7874
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- データソース種別
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- CiNii Books