化学的機械研磨(CMP)プロセスにおける研磨粒子凝集体の圧縮・ずり変形挙動の解明
CiNii
所蔵館 1館
書誌事項
- タイトル
- "化学的機械研磨(CMP)プロセスにおける研磨粒子凝集体の圧縮・ずり変形挙動の解明"
- 責任表示
- 塚田隆夫研究代表
- 出版者
-
- [塚田隆夫]
- 出版年月
-
- 2005.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
-
- カガクテキ キカイ ケンマ (CMP) プロセス ニオケル ケンマ リュウシ ギョウシュウタイ ノ アッシュク ズリ ヘンケイ キョドウ ノ カイメイ
- 平成15年度-平成16年度科学研究費補助金基盤研究(B)(2)研究成果報告書(課題番号15360407)
この図書・雑誌をさがす
注記
参考文献: p36
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130000794150639104
-
- NII書誌ID
- BB10657534
-
- 本文言語コード
- ja
-
- 出版国コード
- ja
-
- タイトル言語コード
- ja
-
- 出版地
-
- [仙台]
-
- データソース種別
-
- CiNii Books