Metal impurities in silicon- and germanium-based technologies : origin, characterization, control, and device impact

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書誌事項

タイトル
"Metal impurities in silicon- and germanium-based technologies : origin, characterization, control, and device impact"
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Cor Claeys, Eddy Simoen
出版者
  • Springer
出版年月
  • c2018
書籍サイズ
25 cm

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