書誌事項
- タイトル
- "Chemical-mechanical planarization of semiconductor materials"
- 責任表示
- M.R. Oliver (ed.)
- 出版者
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- Springer
- 出版年月
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- c2004
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794310533888
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- NII書誌ID
- BA65818089
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- ISBN
- 3540431810
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- LCCN
- 2003059075
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/2003059075
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- gw
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Berlin ; Tokyo
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC22: 621.3815/2
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- 件名
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- LCSH: Semiconductors -- Materials
- LCSH: Grinding and polishing
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- データソース種別
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- CiNii Books
