Integrated circuit metrology, inspection, and process control VIII : 28 February-2 March [1994], San Jose, California
書誌事項
- タイトル
- "Integrated circuit metrology, inspection, and process control VIII : 28 February-2 March [1994], San Jose, California"
- 責任表示
- Marylyn Hoy Bennett chair/editor ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c1994
- 書籍サイズ
- 28 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794313370752
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- NII書誌ID
- BA27423916
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- ISBN
- 0819414913
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- LCCN
- 94065791
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/94065791
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash., USA
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- データソース種別
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- CiNii Books