書誌事項
- タイトル
- "Micromachined devices and components II : 14-15 October 1996, Austin, Texas"
- 責任表示
- Kevin Chau, Ray M. Roop, chairs/editors ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering, SEMI--Semiconductor Equipment and Materials International, NIST--National Institute for Standards and Technology
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- 1996
- 書籍サイズ
- 28 cm
- シリーズ名/番号
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- pbk.
- タイトル別名
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- Micromachined devices and components 2
- Micromachined devices and components two
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794430314496
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- NII書誌ID
- BA79657206
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- ISBN
- 0819422800
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- LCCN
- 96069476
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/96069476
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, WA
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- 分類
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- LCC: TJ163
- DC21: 621.3815/2
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- データソース種別
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- CiNii Books