書誌事項
- タイトル
- "Semiconductor microlithography V"
- 責任表示
- Jim Dey, editor ; presented by the Society of Photo-optical Instrumentation Engineers in cooperation with the Northern California Microphotomask/Masking Working Group and the International Society for Hybrid Microelectronics
- 出版者
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- S.P.I.E.-- Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
- 出版年月
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- c1980
- 書籍サイズ
- 28 cm
- シリーズ名/番号
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- pbk.
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注記
March 17-18, 1980, San Jose, California
Includes bibliographical references and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794473203328
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- NII書誌ID
- BA23910959
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- ISBN
- 089252250X
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- LCCN
- 80050727
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/80050727
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash.
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC19: 621.381/71
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- 件名
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- データソース種別
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- CiNii Books