Film deposition by plasma techniques

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書誌事項

タイトル
"Film deposition by plasma techniques"
責任表示
Mitsuharu Konuma
出版者
  • Springer-Verlag
出版年月
  • c1992
書籍サイズ
24 cm
シリーズ名/番号
  • : Germany
  • : New York
タイトル別名
  • プラズマと成膜の基礎

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注記

Based on: Purazuma to seimaku no kiso / Mitsuharu Konuma. Cf. Pref

Includes bibliographical references and index

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