Advanced microlithography technologies : 8-10 November, 2004, Beijing, China

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書誌事項

タイトル
"Advanced microlithography technologies : 8-10 November, 2004, Beijing, China"
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Yangyuan Wang, Jun-en Yao, Christopher J. Progler, chairs/editors ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering, COS--Chinese Optical Society ; cooperating organizations, Australian Optical Society ... [et al.] ; supporting organizations, National Natural Science Foundation of China ... [et al.]
出版者
  • SPIE
出版年月
  • c2005
書籍サイズ
28 cm
タイトル別名
  • Microlithography technologies

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注記

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