形状測定機能を持つナノ加工プローブによる大面積3次元微細計測基準面の高精度創成
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "形状測定機能を持つナノ加工プローブによる大面積3次元微細計測基準面の高精度創成"
- 責任表示
- 高偉研究代表
- 出版者
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- [高偉]
- 出版年月
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- 2005.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ケイジョウ ソクテイ キノウ オ モツ ナノ カコウ プローブ ニヨル ダイメンセキ 3ジゲン ビサイ ケイソク キジュンメン ノ コウセイド ソウセイ
- 平成15年度-平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号15360063)
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注記
乱丁あり: p30-62
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794520167040
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- NII書誌ID
- BB10635316
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books