形状測定機能を持つナノ加工プローブによる大面積3次元微細計測基準面の高精度創成

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書誌事項

タイトル
"形状測定機能を持つナノ加工プローブによる大面積3次元微細計測基準面の高精度創成"
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高偉研究代表
出版者
  • [高偉]
出版年月
  • 2005.3
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • ケイジョウ ソクテイ キノウ オ モツ ナノ カコウ プローブ ニヨル ダイメンセキ 3ジゲン ビサイ ケイソク キジュンメン ノ コウセイド ソウセイ
  • 平成15年度-平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号15360063)

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注記

乱丁あり: p30-62

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000794520167040
  • NII書誌ID
    BB10635316
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [仙台]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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