二重SOI構造による高温度用加速度センサ
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "二重SOI構造による高温度用加速度センサ"
- 責任表示
- 研究代表者 石田誠
- 出版者
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- 石田誠
- 出版年月
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- 1996.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ニジュウ SOI コウゾウ ニヨル コウオンドヨウ カソクド センサ
- 平成7年度科学研究費補助金(試験研究(B)(2))研究成果報告書
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注記
研究課題番号: 06555102
研究分担者: 松本佳宣, 桜井止水城
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794619605248
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- NII書誌ID
- BN15760681
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [豊橋]
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- 分類
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- NDC9: 549.8
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- データソース種別
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- CiNii Books
