二重SOI構造による高温度用加速度センサ
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "二重SOI構造による高温度用加速度センサ"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 石田誠
- Publisher
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- 石田誠
- Publication Year
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- 1996.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- ニジュウ SOI コウゾウ ニヨル コウオンドヨウ カソクド センサ
- 平成7年度科学研究費補助金(試験研究(B)(2))研究成果報告書
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Notes
研究課題番号: 06555102
研究分担者: 松本佳宣, 桜井止水城
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794619605248
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- NII Book ID
- BN15760681
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [豊橋]
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- Classification
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- NDC9: 549.8
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- Data Source
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- CiNii Books