二重SOI構造による高温度用加速度センサ

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Bibliographic Information

Title
"二重SOI構造による高温度用加速度センサ"
Statement of Responsibility
研究代表者 石田誠
Publisher
  • 石田誠
Publication Year
  • 1996.3
Book size
30cm
Other Title
  • ニジュウ SOI コウゾウ ニヨル コウオンドヨウ カソクド センサ
  • 平成7年度科学研究費補助金(試験研究(B)(2))研究成果報告書

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Notes

研究課題番号: 06555102

研究分担者: 松本佳宣, 桜井止水城

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000794619605248
  • NII Book ID
    BN15760681
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [豊橋]
  • Classification
  • Data Source
    • CiNii Books
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