二重SOI構造による高温度用加速度センサ

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書誌事項

タイトル
"二重SOI構造による高温度用加速度センサ"
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研究代表者 石田誠
出版者
  • 石田誠
出版年月
  • 1996.3
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • ニジュウ SOI コウゾウ ニヨル コウオンドヨウ カソクド センサ
  • 平成7年度科学研究費補助金(試験研究(B)(2))研究成果報告書

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注記

研究課題番号: 06555102

研究分担者: 松本佳宣, 桜井止水城

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000794619605248
  • NII書誌ID
    BN15760681
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [豊橋]
  • 分類
  • データソース種別
    • CiNii Books
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