A wafer chuck for use between -196 and 350[0]C

HathiTrust 1979 Web Site CiNii 所蔵館 1館

書誌事項

タイトル
"A wafer chuck for use between -196 and 350[0]C"
責任表示
R.Y. Koyama and M.G. Buehler
出版者
  • U.S. G.P.O.
出版年月
  • 1979
書籍サイズ
26 cm
巻次・年月次
  • no.400:55

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注記

Bibliography: p. 13

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