Proceedings of the second Symposium on Process Physics and Modeling in Semiconductor Technology
書誌事項
- タイトル
- "Proceedings of the second Symposium on Process Physics and Modeling in Semiconductor Technology"
- 責任表示
- edited by G.R. Srinivasan, J. Plummer, S. T. Pantelides
- 出版者
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- Electrochemical Society
- 出版年月
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- c1990
- 書籍サイズ
- 23 cm
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注記
Spine title: Process physics and modeling in semiconductor technology
Includes bibliographical references
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794853858304
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- NII書誌ID
- BA11822173
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- LCCN
- 90085817
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/90085817
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, NJ (10 S. Main St., Pennington 08534-2896)
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC20: 621.381/52/011
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- データソース種別
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- CiNii Books
