Design, process integration, and characterization for microelectronics : 6-7 March 2002, Santa Clara, USA

Web Site CiNii 所蔵館 1館

書誌事項

タイトル
"Design, process integration, and characterization for microelectronics : 6-7 March 2002, Santa Clara, USA"
責任表示
Alexander Starikov, Kenneth W. Tobin, Jr., chairs/editors ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering
出版者
  • SPIE
出版年月
  • c2002
書籍サイズ
28 cm

この図書・雑誌をさがす

注記

Includes bibliographical references and index

関連図書・雑誌

もっと見る

詳細情報 詳細情報について

ページトップへ