Proceedings of the Symposium on Contamination Control and Defect Reduction in Semiconductor Manufacturing III

Web Site CiNii 所蔵館 3館

書誌事項

タイトル
"Proceedings of the Symposium on Contamination Control and Defect Reduction in Semiconductor Manufacturing III"
責任表示
edited by D.N. Schmidt ; [sponsored by] the Electrochemical Society. Electronics Division
出版者
  • The Electrochemical Society
出版年月
  • c1994
書籍サイズ
24 cm

この図書・雑誌をさがす

注記

Includes bibliographies and index

"held May 23-27, 1994 in San Francisco, CA"

関連図書・雑誌

もっと見る

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000795014103936
  • NII書誌ID
    BA23030773
  • ISBN
    1566770416
  • LCCN
    94070841
  • Web Site
    https://lccn.loc.gov/94070841
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Pennington, NJ
  • データソース種別
    • CiNii Books
ページトップへ