Integrated circuit metrology, inspection, and process control III : 27-28 February 1989, Los Angeles, California
書誌事項
- タイトル
- "Integrated circuit metrology, inspection, and process control III : 27-28 February 1989, Los Angeles, California"
- 責任表示
- Kevin M. Monahan, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering
- 出版者
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- UMI
- 出版年月
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- c1989
- 書籍サイズ
- 28 cm
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注記
Facsimile reprint. originally published: Bellingham, Wash. : SPIE
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795034788352
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- NII書誌ID
- BA2506993X
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- ISBN
- 0819401226
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- LCCN
- 89060657
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/89060657
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Ann Arbor, MI
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- データソース種別
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- CiNii Books