Silicon processing : a symposium

Name: Silicon processing : a symposium
Author: Gupta, D. C. (Dinesh C.), ASTM Committee F-1 on Electronics, United States. National Bureau of Standards, Stanford University, Symposium on Silicon Processing

Gupta, D. C. (Dinesh C.), ASTM Committee F-1 on Electronics, United States. National Bureau of Standards, Stanford University, Symposium on Silicon Processing

Silicon processing : a symposium

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書誌事項

タイトル: "Silicon processing : a symposium"

責任表示: sponsored by ASTM Committee F-1 on Electronics, National Bureau of Standards, and Stanford University, San Jose, Calif., 19-22 Jan. 1982 / D.C. Gupta, editor

出版者

ASTM

出版年月

c1983

書籍サイズ: 24 cm

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注記

Papers presented at the Symposium on Silicon Processing, held in San Jose, Calif., Jan 19-22, 1982

"ASTM publication code number (PCN) 04-804000-46."

Includes bibliographical references and index

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