書誌事項
- タイトル
- "ULSI process integration : proceedings of the first international symposium"
- 責任表示
- editors, C.L. Claeys ... [et al.]
- 出版者
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- Electrochemical Society
- 出版年月
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- 1999
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
"Includes papers that were presented at the First Symposium on ULSI Process Integration held in Honolulu, Hawaii at the 196th Meeting of the Electrochemical Society, October 17-22, 1999"--Pref
Includes bibliographical references and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795067150720
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- NII書誌ID
- BA50226971
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- ISBN
- 1566772419
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- LCCN
- 99066095
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/99066095
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, NJ
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- データソース種別
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- CiNii Books
