Metal impurities in silicon-device fabrication

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書誌事項

タイトル
"Metal impurities in silicon-device fabrication"
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Klaus Graff
出版者
  • Springer-Verlag
  • 2nd, revised ed.
出版年月
  • c2000
書籍サイズ
24 cm

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注記

Includes bibliographical references and index

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000795142190336
  • NII書誌ID
    BA46405070
  • ISBN
    3540642137
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    gw
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Berlin ; New York
  • データソース種別
    • CiNii Books
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