Modelling and simulation of IMEMS : a thesis submitted to the Swiss Federal Institute of Technology Zurich for the degree of Doctor of Technical Sciences

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書誌事項

タイトル
"Modelling and simulation of IMEMS : a thesis submitted to the Swiss Federal Institute of Technology Zurich for the degree of Doctor of Technical Sciences"
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presented by Jörg Funk
出版者
  • Swiss Federal Institute of Technology Zurich
出版年月
  • 1995
書籍サイズ
24 cm

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