MEMS・NEMSの最新動向 : マイクロマシンの基礎と応用
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "MEMS・NEMSの最新動向 : マイクロマシンの基礎と応用"
- 責任表示
- 東レリサーチセンター調査研究部門制作
- 出版者
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- 東レリサーチセンター
- 出版年月
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- 2004.5
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- MEMS NEMS ノ サイシン ドウコウ : マイクロ マシン ノ キソ ト オウヨウ
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注記
引用文献あり
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795326944000
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- NII書誌ID
- BA70523925
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- 東京
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- 件名
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- NDLSH: マイクロマシン
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- データソース種別
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- CiNii Books