MEMS・NEMSの最新動向 : マイクロマシンの基礎と応用

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書誌事項

タイトル
"MEMS・NEMSの最新動向 : マイクロマシンの基礎と応用"
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東レリサーチセンター調査研究部門制作
出版者
  • 東レリサーチセンター
出版年月
  • 2004.5
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • MEMS NEMS ノ サイシン ドウコウ : マイクロ マシン ノ キソ ト オウヨウ

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000795326944000
  • NII書誌ID
    BA70523925
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • 東京
  • 分類
  • 件名
  • データソース種別
    • CiNii Books
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