Handbook of thin-film deposition processes and techniques : principles, methods, equipment, and applications

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書誌事項

タイトル
"Handbook of thin-film deposition processes and techniques : principles, methods, equipment, and applications"
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edited by Klaus K. Schuegraf
出版者
  • Noyes
  • 2nd ed
出版年月
  • c2002
書籍サイズ
25 cm

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注記

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