書誌事項
- タイトル
- "Selected papers on optical microlithography"
- 責任表示
- Harry L. Stover, editor
- 出版者
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- SPIE Optical Engineering Press
- 出版年月
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- c1992
- 書籍サイズ
- 28 cm
- シリーズ名/番号
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- : hardbound
- : softbound
- タイトル別名
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- Optical microlithography
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注記
Papers originally published in various journals, 1974-1991
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795550357632
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- NII書誌ID
- BA25780639
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- ISBN
- 0819409855
- 0819409863
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- LCCN
- 92019421
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/92019421
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash.
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC20: 621.3815/2
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- 件名
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- LCSH: Semiconductors -- Design and construction
- LCSH: Microlithography
- LCSH: Masks (Electronics)
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- データソース種別
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- CiNii Books
