Laser and particle-beam chemical processing for microelectronics : symposium held December 1-3, 1987, Boston, Massachusetts, USA
書誌事項
- タイトル
- "Laser and particle-beam chemical processing for microelectronics : symposium held December 1-3, 1987, Boston, Massachusetts, USA"
- 責任表示
- editors, Daniel J. Ehrlich, Gregg S. Higashi, Modest M. Oprysko
- 出版者
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- Materials Research Society
- 出版年月
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- c1988
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
Includes bibliographies and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795554608640
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- NII書誌ID
- BA05021227
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- ISBN
- 0931837693
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- LCCN
- 88005363
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/88005363
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pittsburgh, Pa.
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- データソース種別
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- CiNii Books