書誌事項
- タイトル
- "Optical microlithography IV : March 13-14, 1985, Santa Clara, California"
- 責任表示
- Harry L. Stover, chairman/editor ; cooperating organization, the International Society for Hybrid Microelectronics
- 出版者
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- SPIE--the International Society for Optical Engineering
- 出版年月
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- c1985
- 書籍サイズ
- 28 cm
- シリーズ名/番号
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- spine : pbk.
- タイトル別名
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- Optical microlithography 4
- Optical microlithography four
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注記
Includes bibliographies
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795637276928
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- NII書誌ID
- BA2399852X
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- ISBN
- 0892525738
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- LCCN
- 85061232
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/85061232
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash., USA
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- 分類
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- LCC: TR940
- DC19: 621.381/74
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- データソース種別
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- CiNii Books