原子描画装置の開発

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書誌事項

タイトル
"原子描画装置の開発"
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研究代表者 宅間博, 清水和子
出版者
  • [電気通信大学]
出版年月
  • 1998.7
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • ゲンシ ビョウガ ソウチ ノ カイハツ

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注記

課題番号: 07554012

研究代表者: 宅間宏(平成7年度)

研究代表者: 清水和子(平成8年度)

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000795690362752
  • NII書誌ID
    BB26721949
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [調布]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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