Tungsten and other refractory metals for VLSI applications III : proceedings of the 1987 workshop held October 7-9, 1987, IBM Thomas J. Watson Research Center, Yorktown Heights, New York, U.S.A.
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書誌事項
- タイトル
- "Tungsten and other refractory metals for VLSI applications III : proceedings of the 1987 workshop held October 7-9, 1987, IBM Thomas J. Watson Research Center, Yorktown Heights, New York, U.S.A."
- 責任表示
- editor, Victor A. Wells ; associate editors, Carol M. McConica ...[et al.]
- 出版者
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- Materials Research Society
- 出版年月
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- c1988
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
Includes bibliography and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795770524800
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- NII書誌ID
- BA20742202
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- ISBN
- 0931837847
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pittsburgh, Pa
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- データソース種別
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- CiNii Books
