異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合
CiNii
所蔵館 31館
書誌事項
- タイトル
- "異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合"
- 責任表示
- 益一哉, 年吉洋, 町田克之監修
- 出版者
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- シーエムシー出版
- 普及版
- 出版年月
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- 2019.4
- 書籍サイズ
- 26cm
- タイトル別名
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- イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : MEMS NEMS センサ CMOSLSI ノ ユウゴウ
- Integration technology for heterogeneous advanced devices : basics and applications
- 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMSNEMSセンサCMOSLSIの融合
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注記
2012年刊の普及版
文献: 各章末(第31章, 第32章には無し)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795780806656
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- NII書誌ID
- BB28002091
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- ISBN
- 9784781313641
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- 東京
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- データソース種別
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- CiNii Books