Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical, and data storage industries II : 2-3 August 2001 San Diego, USA
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書誌事項
- タイトル
- "Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical, and data storage industries II : 2-3 August 2001 San Diego, USA"
- 責任表示
- Angela Duparré, Bhanwar Singh, chairs/editors ; sponsored ... by SPIE--the International Society for Optical Engineering
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c2001
- 書籍サイズ
- 28 cm
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注記
Includes bibliographic references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795898456832
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- NII書誌ID
- BA58045904
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- ISBN
- 0819441635
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash.
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- データソース種別
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- CiNii Books
