二周波数励起低運動エネルギイオン照射プロセス成膜装置の開発
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "二周波数励起低運動エネルギイオン照射プロセス成膜装置の開発"
- 責任表示
- 大見忠弘研究代表者
- 出版者
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- [大見忠弘]
- 出版年月
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- 1990.3
- 書籍サイズ
- 26cm
- タイトル別名
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- ニシュウハスウ レイキ テイウンドウ エネルギイオン ショウシャ プロセス セイマク ソウチ ノ カイハツ
- 平成元年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書 : (課題番号 63850058)
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注記
課題番号: 63850058
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795952312576
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- NII書誌ID
- BB1236839X
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books