Chemical mechanical polishing 2000 -- fundamentals and materials issues : symposium held April 26-27, 2000, San Francisco, California, U.S.A.

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書誌事項

タイトル
"Chemical mechanical polishing 2000 -- fundamentals and materials issues : symposium held April 26-27, 2000, San Francisco, California, U.S.A."
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editors, Rajiv K. Singh ... [et al.]
出版者
  • Materials Research Society
  • Cambridge University Press
出版年月
  • 2013
書籍サイズ
23 cm
シリーズ名/番号
  • :pbk

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注記

Includes bibliographical references and indexes

"First paperback edition 2013"--T.p. verso

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000795959765504
  • NII書誌ID
    BB2767463X
  • ISBN
    9781107413146
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Warrendale, PA
    • Cambridge ; New York
  • データソース種別
    • CiNii Books
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