Chemical mechanical polishing 2000 -- fundamentals and materials issues : symposium held April 26-27, 2000, San Francisco, California, U.S.A.
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書誌事項
- タイトル
- "Chemical mechanical polishing 2000 -- fundamentals and materials issues : symposium held April 26-27, 2000, San Francisco, California, U.S.A."
- 責任表示
- editors, Rajiv K. Singh ... [et al.]
- 出版者
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- Materials Research Society
- Cambridge University Press
- 出版年月
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- 2013
- 書籍サイズ
- 23 cm
- シリーズ名/番号
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- :pbk
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注記
Includes bibliographical references and indexes
"First paperback edition 2013"--T.p. verso
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795959765504
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- NII書誌ID
- BB2767463X
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- ISBN
- 9781107413146
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Warrendale, PA
- Cambridge ; New York
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- データソース種別
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- CiNii Books