チャネルエピタキシー法によるSi基板上への3C-SiCの結晶成長
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "チャネルエピタキシー法によるSi基板上への3C-SiCの結晶成長"
- 出版者
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- [西野茂弘]
- 出版年月
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- 2003.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- チャネル エピタキシー ホウ ニ ヨル Siキバンジョウ エノ 3C-SiC ノ ケッショウ セイチョウ
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注記
研究代表者: 西野茂弘
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796034522496
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- NII書誌ID
- BA83012554
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [京都]
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- データソース種別
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- CiNii Books